セラミックコーティングで得られる膜種の特性と用途
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膜 種
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TiN
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TiAlN
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TiSiN *1
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TiCN
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CrN
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DLC-Si
(NEO C) *2
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色 調
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ゴールド
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ダーク
バイオレット
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ライトブラウン
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グレー
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シルバー
ホワイト
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ブラック
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膜の製法
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PVD/HCD,AIP
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PVD/AIP
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PVD/AIP
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PVD/HCD
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PVD/HCD
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PCVD/DC
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標準膜圧(μm)
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2～4
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2～4
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1～3
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2～4
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2～4
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2～4
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最大膜圧(μm)
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10
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5
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4
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5
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10
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10
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硬さ(HV)
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1800～2400
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2300～2500
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3000～3500
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3000～3500
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2000～2200
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2000～2500
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摩擦係数(μ)
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0.35～0.45
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0.35～0.45
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0.70～0.90
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0.15～0.25
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0.25～0.30
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0.05～0.10
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耐熱温度(℃)
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450
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800
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1100
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350
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550
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450
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耐 食 性
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○
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○
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○
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△
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◎
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○
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耐酸化性
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○
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◎
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◎
|
△
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○
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○
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耐摩耗性
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○
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○
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◎
|
◎
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○
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○
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耐焼付性
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○
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○
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○
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○
|
○
|
○
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主な用途
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切削工具
金型、型部品
機械部品
治具
装飾
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切削工具
金型、型部品
装飾
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切削工具
金型、型部品
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切削工具
金型、型部品
治具
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機械部品
金型、型部品
治具
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AI加工用工具
金型、型部品
機械部品
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*1 TiSiNは、日立ツール㈱で開発されたTHコート技術をライセンス導入したものです。
*2 NEO Cコーティングは、㈱豊田中央研究所で開発されたDLC-Siコーティング技術を弊社が実用化したものです。
