セラミックコーティングで得られる膜種の特性と用途
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膜 種
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TiN
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TiAlN
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TiSiN*1
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AlCrSiN*2
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CrSiN*3
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TiCN
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CrN
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DLC-Si
(NEO C)*4
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色 調
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ゴールド
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ダーク
バイオレット
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ライトブラウン
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ライトグレー
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グレー
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シルバー
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シルバー
ホワイト
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ブラック
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膜の製法
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PVD/HCD
/AIP
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PVD/AIP
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PVD/AIP
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PVD/AIP
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PVD/AIP
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PVD/HCD
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PVD/HCD
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P-CVD/DC
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標準膜厚
(μm)
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2～4
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2～4
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1～3
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1～3
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2～4
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2～4
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2～4
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2～4
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最大膜厚
(μm)
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10
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5
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4
|
4
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5
|
5
|
10
|
10
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硬 さ
(HV)
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1800～2400
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2300～2500
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3000～3500
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2800～3000
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2400～2600
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3000～3500
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2000～2200
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2000～2500
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摩擦係数
(μ)
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0.35～0.45
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0.35～0.45
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0.60～0.70
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0.50～0.60
|
0.25～0.35
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0.15～0.25
|
0.25～0.30
|
0.05～0.10
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耐熱温度
(℃)
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450
|
800
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1100
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1200
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1000
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350
|
550
|
450
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耐 食 性
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○
|
○
|
○
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○
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◎
|
△
|
◎
|
○
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耐酸化性
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△
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◎
|
◎
|
◎
|
◎
|
△
|
○
|
○
|
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耐摩耗性
|
○
|
○
|
◎
|
◎
|
◎
|
◎
|
○
|
○
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耐焼付性
|
○
|
○
|
○
|
○
|
◎
|
○
|
○
|
○
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主な用途
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切削工具
金型、型部品
機械部品
治具
装飾
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切削工具
金型、型部品
装飾
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切削工具
金型、型部品
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切削工具
金型、型部品
治具
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切削工具
機械部品
金型、型部品
治具
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切削工具
金型、型部品
治具
装飾
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機械部品
金型、型部品
治具
装飾
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Al加工用工具
機械部品
金型、型部品
治具
装飾
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*1 TiSiNは、日立ツール㈱で開発されたTHコート技術をライセンス導入したものです。
*2 AlCrSiNは、日立ツール㈱で開発されたATコート技術をライセンス導入したものです。
*3 CrSiNは、日立ツール㈱で開発されたCSコート技術をライセンス導入したものです。
*4 NEO Cコーティングは、㈱豊田中央研究所で開発されたDLC-Siコーティング技術を両社で実用化したものです。
