＜プラズマ浸炭法＞ 　被処理物を真空炉内でヒーターにより浸炭温度まで加熱します。 　次に炉体・断熱材を陽極、被処理物を陰極とし、メタンやフロパンといった炭化水素系ガスを含む2〜3Torrの希ガス雰囲気中で両極間に数百ボルトの直流電圧を印加し、グロー放電を発生させます。 　グロー放電で生じたプラズマ中での種々の電気化学的作用により、炭化水素系ガス等のイオンが被処理物表面に作用し浸炭が行われます。 　加熱源には主にヒーターを用いますが、イオンによる浸炭と同時に被処理物表面の活性化やクリ−ニングいったプラズマの効果により他の浸炭技術にない特性が得られます。	プラズマ浸炭法

＜特　　長＞
（１）	粒界酸化がなく、処理物の表面が清浄で光輝性があります。	JIC-6SC-SV型プラズマ浸炭装置
（２）	プラズマ作用により低圧で均−な浸炭が得られ、ガス浸炭や真空浸炭のようなスーティンクがありません。
（３）	浸炭速度か早く、低温及び短時間処理によりグレインの成長がなく、低歪処理が可能です。
（４）	高濃度浸炭や難浸炭材（SUS及び焼結品等）の浸炭ができます。
（５）	無公害・省エネルギー処理です。

＜プラズマ浸炭装置＞ 　プラズマ浸炭装置は熱エネルギーに加え直流グロー放電によるプラズマの電気化学作用を利用して、金属材料表面に炭化物を形成させ、機械的強度を向上させるプラズマ熱処理装置です。 　産業界における省エネルギー・省資源・エレクトロニクス化などめざましい技術革新の進展とあいまって工業部品の品質はこれまでにない厳しさを求められており、高機能・高品質の熱処理への需要が飛躍的に高まっています。 　当社が開発したプラズマ浸炭法は「クリーンな作業環境」の中で高効率かつ高精度の安定した品質が得られ、在来の浸炭法では不可能とされていた「高濃度浸炭」や「難浸炭材への応用」などにも優れた特長が認められ、その幅広い実用化への道が拓かれました。	PMF-323型プラズマ浸炭装置