■　製品紹介

　プラズマは高エネルギーを得られるため、半導体・電子･光学・精密機械分野等の薄膜製造に、また表面改質分野といった幅広い分野で使用されています。本ＤＣプラズマドライブは、直流放電をパルス化し、放電時に発生し悪影響を及ぼすアーク放電を完全に遮断することを目的に開発されました。ＤＣプラズマドライブは操作簡単・小型化・軽量を可能にしたプラズマ用直流電源です。アーク放電を高速遮断できることにより、直流プラズマを用いた薄膜用スパッタ・プラズマCVD・プラズマ熱処理等全ての処理の電源としてご利用いただけます。

　　ＮＰ３Ｓタイプ（３０ＫＷ）

■　使用用途　　　　　　　　　　　　

　　☆ プラズマ熱処理用電源　　　☆ プラズマＣＶＤ用電源
　　☆ ＰＶＤ用バイアス電源　　　☆ マグネトロンスパッタ用電源
　　☆各種プラズマ反応装置

■　特　徴

１、トランジスタ採用による小型軽量
２、２μsec以下の高速アーク遮断
３、液晶ディスプレーによるわかりやすい操作盤
４、操作部と電源部を離して使用可能
５、 直流電圧のパルス化により高いイオン密度