工具や機械部品の性能および耐久性の向上のため、セラミックコーティングによるTiN、CrNそしてAlCrNなどの硬質な薄膜の利用が盛んとなり、従来にも増して過酷な使用条件下では被膜の密着性を始めとした信頼性の更なる向上が要求されています。

ラジカル窒化処理では、化合物層のない窒化処理が可能です。
ラジカル窒化処理後の表面は、窒化前の仕上げ加工による表面粗さをほぼ維持します。
処理後の平滑で清浄な表面状態により、研磨などの後加工を必要とせず、引き続きセラミックコーティング処理を行うことを可能にしました。

ラジカル窒化処理は、金型・機械部品・工具といったTiN・CrNなどのセラミックコーティング処理をする製品の下地を強化し、被膜の特性や耐久性を向上させる処理として高い評価を得ています。また、DLCなどの硬質炭素膜処理にも応用することができます。