プラズマ(イオン)窒化は、窒化性ガスに窒素、水素を用い、13.3Pa～1.3ｋPaの真空雰囲気中で製品と窒化炉の炉壁との間に数百ボルトの直流電圧を印加して得られるグロー放電中で処理されます。
製品は、グロー放電により得られた窒素イオンと水素イオンの製品表面への衝突作用を利用し窒化されます。

同時に、イオンの衝突作用により、窒化面の浄化、加熱が進行します。
プラズマ窒化は、製品材質や用途ごとに最適な窒化条件選択の自由度が高く、無酸化で硬化できるため、金型や精密機械部品などに幅広く採用されています。

ラジカル窒化法は、従来のガス窒化などの窒化法とは異なり、化合物層のない窒化を可能にした新しい理論に基づくプラズマ表面改質法です。
ラジカル窒化法は、ガス流量・処理圧力・プラズマ出力などを高精度に制御して得られる窒化作用の高いラジカル（活性種）を効率よく利用して、化合物質の生成を抑えた窒化を可能にしています。