EQUIPMENT

DCプラズマドライブ装置
操作簡単・小型化・軽量を可能にしたプラズマ用直流電源です。直流放電をパルス化し、放電時に発生し悪影響を及ぼすアーク放電を完全に遮断できます。直流プラズマを用いた薄膜用スパッタ・プラズマCVD・プラズマ熱処理等全ての処理の電源としてご利用いただけます。
●プラズマは高エネルギーを得られるため、半導体・電子･光学・精密機械分野等の薄膜製造に、また表面改質分野といった幅広い分野で使用されています。
●本ＤＣプラズマドライブは、直流放電をパルス化し、放電時に発生し悪影響を及ぼすアーク放電を完全に遮断することを目的に開発されました。
設備販売 一覧に戻る→

CONTACT

受託加工や設備販売のことなど
お気軽にご相談ください
ENGLISH
CONTACT