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DCプラズマドライブ装置
操作簡単・小型化・軽量を可能にしたプラズマ用直流電源です。直流放電をパルス化し、放電時に発生し悪影響を及ぼすアーク放電を完全に遮断できます。直流プラズマを用いた薄膜用スパッタ・プラズマCVD・プラズマ熱処理等全ての処理の電源としてご利用いただけます。

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