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プラズマ浸炭装置
金属材料表面に炭化物を形成し、機械的強度を向上させるプラズマ熱処理装置です。当社が開発したプラズマ浸炭法は、クリーンな作業環境の中で従来のガス浸炭よりも短時間で高精度の安定した品質が得られ「高濃度浸炭」や「難浸炭材への応用」など優れた特徴が認められています。
●【プラズマ浸炭とは】 ①被処理物を真空炉内でヒーターにより浸炭温度まで加熱します。②次に炉体・断熱材を陽極、被処理物を陰極とし、メタンやプロパンといった炭化水素系ガスを含む133～400Pa程度の希ガス雰囲気中で両極間に数百ボルトの直流電流を印加し、グロー放電を発生させます。③グロー放電で生じたプラズマ中での種々の電気化学的作用により、炭化水素系ガスなどのイオンが被処理物表面に作用し浸炭が行われます。 (その他)： 加熱源には主にヒーターを用いますが、イオンによる浸炭と同時に被処理物表面の活性化やクリーニングといったプラズマの効果により他の浸炭技術にない特性が得られます。
●産業界における省エネルギー・省資源・エレクトロニクス化など、めざましい技術革新の発展とあいまって工業部品の品質はこれまでにない厳しさを求められており、高機能・高品質の熱処理への需要が飛躍的に高まっています。
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