ラジカル窒化法は、ガス流量・処理圧力・プラズマ出力などを高精度に制御して得られる窒化作用の高いラジカル（活性種）を効率よく利用して窒化処理を行います。窒化処理中のイオンとラジカル（活性種）の生成量を調整することにより、化合物層の生成を抑えた窒化処理を可能にしています。
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| １． | 金型や工具に発生するエッジ部の欠け、ヒートクラックの発生が改善できます。 また化合物層による寸法変化や歪みの発生が抑えられます。 |
| ２． | ラジカル窒化後の研磨面の光沢は維持され、面粗さ変化も僅少です。 |
| ３． | 材質や必要部分の形状ごとに最適な窒化条件が設定できます。窒化防止も容易です。 |
| ４． | ＰＶＤ処理などとの複合処理では、ラジカル窒化後連続してＰＶＤ処理することも可能です。 ＰＶＤ処理で得られた硬質セラミック膜の耐久性を一段と向上させます。 |
